儀器名稱: | 紫外光電子能譜(UPS) | 型號: | |
檢測項目: | 可以測試樣品功函數和價帶位置 | ||
應用范圍: | 可以獲得樣品價帶譜信息,對導體、半導體的能帶、帶隙等分析提供主要數據,分析樣品的價帶位置和功函數等。 | ||
制樣要求 | 1,樣品狀態:塊狀、薄膜樣品平面尺寸一般要求5*5mm,最大不超過8*8mm,可以為正方形或者長方形,厚度最好不要超過1mm,樣品要求具有一定導電性(表面電阻<10MQ)。不接受大尺寸樣品測試; 2,粉體樣品需要制備為薄膜,具體制備方法及要求如下:先把粉末樣品分散在水或乙醇里(濃度盡量低點),滴在硅片上烘干,可以多循環幾次,一定要保證膜表面盡量平整、均勻、連續、整潔,硅片尺寸5*5mm-5*8mm,厚度幾百um,涂完膜干燥后膜層以完全覆蓋住硅片即可(膜層厚度10-50mm即可),膜層的電阻最好小于10兆歐,最大不能超過30兆歐。 3,表面分布均勻、清潔無污染。 |